Правообладатель РИД ИСВЧПЭ РАН
Патенты на полезную модель
2013
- Полупроводниковая наногетероструктура In0.52Al0.48AsInXGa1-XAs с составной активной областью In0.53Ga0.47As/InAs/In0.53Ga0.47As/ InAs/In0.53Ga0.47As с двумя вставками InAs» // Свидетельство о государственной регистрации № 113071 от 08.07.2013 г. / Пономарев Д.С., Васильевский И.С., Галиев Г.Б., Климов Е.А., Хабибуллин Р.А Приложение к патенту
Патенты на изобретение
2018
«Материал для эффективной генерации терагерцового излучения» // Свидетельство о государственной регистрации № 2650575 от 16.04.2018 г. / Пономарев Д.С., Хабибуллин Р.А., Ячменев А.Э., Мальцев П.П.
Патент
«Наноразмерная структура с профилем легирования в виде нанонитей из атомов олова» // Свидетельство о государственной регистрации № 2650576 от 16.04.2018 г. / Бугаев А.С., Ячменев А.Э., Пономарев Д.С., Хабибуллин Р.А., Гамкрелидзе С.А., Мальцев П.П.
Патент
2017
«Материал для фотопроводящих антенн» // Свидетельство о государственной регистрации № 2610222 от 08.02.2017 г. / Галиев Г.Б., Климов Е.А., Клочков А.Н., Мальцев П.П., Пушкарев С.С., Буряков А.М., Мишина Е.Д., Хусяинов Д.И.
Патент
«Способ изготовления омических контактов к нитридным гетероструктурам AlGaN/GaN» // Свидетельство о государственной регистрации № 2610346 от 09.02.2017 г. / Федоров Ю.В. Павлов А.Ю., Павлов В.Ю.
Патент
«Способ изготовления омических контактов к нитридным гетероструктурам на основе Si/Al» // Свидетельство о государственной регистрации № 2619444 от 15.05.2017 г. / Федоров Ю.В., Павлов А.Ю., Павлов В.Ю., Слаповский Д.Н.
Патент
«Способ определения степени релаксации барьерного слоя нитридной гетероструктуры» // Свидетельство о государственной регистрации № 2624604 от 04.07.2017 г. / Алёшин А.Н., Рубан О.А., Юзеева Н.А.
Патент
«Полупроводниковая структура для фотопроводящих антенн» // Свидетельство о государственной регистрации № 2624612 от 04.07.2017 г. / Галиев Г.Б., Климов Е.А., Мальцев П.П., Пушкарев С.С.
Патент
«Способ изготовления Т-образного затвора» // Свидетельство о государственной регистрации № 2624600 от 04.07.2017 г. / Федоров Ю.В., Галиев Р.Р., Павлов А.Ю.
Патент
2016
«Способ определения параметров решетки в выбранной малой области эпитаксиального слоя с градиентом химического состава» // Свидетельство о государственной регистрации № 2581744 от 28.03.2016 г. / Клочков А.Н., Галиев Г.Б., Пушкарев С.С., Климов Е.А., Пономарев Д.С., Хабибуллин Р.А.
Патент
«Полупроводниковая транзисторная наногетероструктура на подложке GaAs с модифицированным стоп-слоем AlxGa1-xAs» // Свидетельство о государственной регистрации № 2582440 от 01.04.2016 г. / Галиев Г.Б., Хабибуллин Р.А., Пушкарев С.С., Пономарев Д.С., Климов Е.А., Клочков А.Н.
Патент
2015
«Устройство СВЧ плазменной обработки материалов» // Свидетельство о государственной регистрации № 2555743 от 09.06.2015 г. / Аристов В.В., Мальцев П.П., Редькин С.В., Побойкина Н.В.
Патент
2014
«Наноразмерная структура с квазиодномерными проводящими нитями олова в решетке GaAs» // Свидетельство о государственной регистрации № 2520538 от 25.04.2014 г. / Сеничкин А.П., Бугаев А.С., Ячменев А.Э., Клочков А.Н.
Патент
«Способ прецизионной лазерно-плазмохимической резки пластин» // Свидетельство о государственной регистрации № 2537101 от 30.10.2014 г. / Аристов В.В., Мальцев П.П., Редькин С.В., Скрипниченко А.С., Павлов В.Ю.
Патент
«Способ СВЧ плазменного формирования пленок кубического карбида кремния на кремнии (3C-SiС)» // Свидетельство о государственной регистрации № 2538358 от 19.11.2014 г. / Аристов В.В., Мальцев П.П., Редькин С.В., Федоров Ю.В.
Патент
«Устройство СВЧ плазменной обработки» // Свидетельство о государственной регистрации № 2539872 от 09.12.2014 г. / Аристов В.В., Мальцев П.П., Редькин С.В., Федоров Ю.В., Реппа А.А.
Патент
«Устройство СВЧ плазменной обработки пластин» // Свидетельство о государственной регистрации № 2539863 от 09.12.2014 г. / Аристов В.В., Мальцев П.П., Приходько П.С., Редькин С.В., Побойкина Н.В., Тарасов Н.С., Томош К.Н.
Патент
2013
«Полупроводниковая метаморфная наногетероструктура InAlAs/InGaAs» // Свидетельство о государственной регистрации № 2474923 от 10.02.2013 г. / Галиев Г.Б., Васильевский И.С., Климов Е.А., Пушкарёв С.С., Рубан О.А.
Патент
«Полупроводниковая наногетероструктура InAlAs/InGaAs с метаморфным буфером» // Свидетельство о государственной регистрации № 2474924 от 10.02.2013 г. / Галиев Г.Б., Васильевский И.С., Климов Е.А., Пушкарёв С.С., Рубан О.А.
Патент
Свидетельства о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы
2017
«Усилитель мощности для диапазона частот 42-46 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2017630015 от 16.01.2017 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Приемо-передающий модуль для диапазона частот 23-25 ГГц в составе: ГУН с буферным усилителем, балансный смеситель, МШУ» // Свидетельство о государственной регистрации № 2017630076 от 04.04.2017 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Приемо-передающий модуль для диапазона частот 23-25 ГГц в составе: малошумящий усилитель, балансный смеситель, умножитель частоты» // Свидетельство о государственной регистрации № 2017630091 от 30.05.2017 г. / Федоров Ю.В.
Свидетельство
2016
«Интегральный СВЧ переключатель 1×2 для диапазона 4-18 ГГц в копланарном исполнении» // Свидетельство о государственной регистрации № 2016630003 от 11.01.2016 г. / Федоров Ю.В., Майтама М.В.
Свидетельство
«Интегрированный приемо-передающий модуль для диапазона частот 57-64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2016630080 от 12.07.2016 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Матвеенко О.С., Крапухин Д.В., Путинцев Б.Г.
Свидетельство
«Интегральный малошумящий усилитель для диапазона частот 8-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2016630103 от 19.08.2016 г. / Федоров Ю.В., Майтама М.В.
Свидетельство
«Интегральный усилитель мощности для диапазона частот 8-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2016630104 от 19.08.2016 г. / Федоров Ю.В., Майтама М.В.
Свидетельство
2015
«Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 57-64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2015630131 от 02.12.2015 г. / П.П. Мальцев, Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Матвеенко О.С., Зуев А.В.
Свидетельство
«Однокаскадный малошумящий усилитель W-диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2015630132 от 02.12.2015 г. / Ю.В. Федоров, Д.Л. Гнатюк
Свидетельство
2014
«Смеситель на балунах Маршанда для диапазона 60 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2014630051 от 19.02.2014 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Матвеенко О.С.
Свидетельство
«Монолитный усилитель с выходной мощностью 5 Вт диапазона частот 0,8 – 2,0 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2014630052 от 19.02.2014 г. / Федоров Ю.В., Зуев А.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Двухкаскадный малошумящий усилитель W-диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2014630155 от 19.12.2014 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л, Зуев А.В., Галиев Р.Р.
Свидетельство
2013
«Двухкаскадный усилитель мощности W-диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2013630036 от 19.02.2013 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Кузнецова Т.И., Майтама М.В., Галиев Р.Р.
Свидетельство
«Трехкаскадный усилитель мощности W-диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2013630035 от 19.02.2013 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Кузнецова Т.И., Майтама М.В., Галиев Р.Р.
Свидетельство
«Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 57-64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2013630159 от 06.11.2013 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Матвеенко О.С., Зуев А.В.
Свидетельство
«Преобразователь сигнала для диапазона 57-64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2013630171 от 05.12.2013 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Матвеенко О.С., Зуев А.В.
Свидетельство
2012
«Прямоугольный интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 5 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630001 от 10.01.2012 г. / Мальцев П.П., Матвеенко О.С., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Прямоугольный интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 10-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630008 от 10.01.2012 г. / Мальцев П.П., Матвеенко О.С., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Генератор Кu-диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630022 от 6.02.2012 г. / Лопарев А.В., Зуев А.В.
Свидетельство
«Резистивный смеситель с субгармонической накачкой КВЧ диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630021 от 6.02.2012 г. / Белкин М.Е., Белкин Л.М., Зуев А.В.
Свидетельство
«Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 5 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630102 от 3.08.2012 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Матвеенко О.С., Лисицкий А.П.
Свидетельство
«Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 10-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630103 от 3.08.2012 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Матвеенко О.С., Лисицкий А.П.
Свидетельство
«Емкостной микроэлектромеханический шунтирующий переключатель для диапазона 10-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630153 от 30.10.2012 г. / Мальцев П.П., Павлов А.Ю., Щаврук Н.В., Майтама М.В.
Свидетельство
«Метаморфный малошумящий усилитель диапазона частот 57 – 64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630154 от 30.10.2012 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Метаморфный усилитель мощности диапазона частот 57 – 64 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630155 от 30.10.2012 г. / Мальцев П.П., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Трехэлектродный СВЧ конденсатор переменной емкости для диапазона частот 10-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2012630161 от 14.11.2012 г. / Мальцев П.П., Мельников А.А., Павлов А.Ю., Щаврук Н.В., Майтама М.В.
Свидетельство
2011
«Широкополосный малошумящий усилитель» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630032 от 04.02.2011 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Монолитный интегральный трехкаскадный малошумящий усилитель КВЧ диапазона» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630034 от 11.02.2011 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Монолитный интегральный ультраширокополосный усилитель мощности диапазона 0,01 – 4 ГГц на гетероструктурах AlGaN/GaN» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630033 от 11.02.2011 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Монолитный интегральный широкополосный усилитель мощности Ka-диапазона на гетероструктурах AlGaN/GaN» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630053 от 18.04.2011 г. / Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
«Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 5 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630058 от 05.05.2011 г. / Мальцев П.П., Матвеенко О.С., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л
Свидетельство
«Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 10-12 ГГц» // Свидетельство о государственной регистрации № 2011630059 от 05.05.2011 г. / Мальцев П.П., Матвеенко О.С., Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л.
Свидетельство
НОУ-ХАУ
2013
Базовый технологический маршрут молекулярно лучевой эпитаксии hemt наногетероструктур InAlAs/InGaAs/InAlAs на подложках InP (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 15.05.2013 № 94-ОД)
2012
Базовый технологический маршрут молекулярно-лучевой эпитаксии метаморфной HEMT наногетероструктуры InAlAs/InGaAs/GaAs с напряженными сверхрешётками InAlAs/InGaAs в метаморфном буфере (Приказ от 27.07.2012 № 214-ОД)
Базовый технологический маршрут молекуларно-лучевой эпитаксии метаморфной HEMT наногетероструктуры InAlAs/InGaAs/GaAs с инверсными ступенями в метаморфном буфере (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 27.07.2012 №215-ОД).
Маршрут проектирования интегрированных антенных элементов на один кристалл с усилителем (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
Базовая технология селективного подзатворного травления системы n-GaAs/AlGaAs (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
Методика экспресс-анализа коэффициентов шума и усиления кристаллов МИС и транзисторов зондовым способом на рабочих пластинах (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
Улучшенный технологический mаршрут электронно-лучевой литографии грибообразных затворов транзисторов мис с топологическими размерами 0,1 мкм и менее (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
2011
Базовый технологический маршрут электронно-лучевой литографии грибообразных затворов транзисторов МИС с топологическими размерами 0,1 мкм и менее (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 21.10.2011 № 332а-К)
Базовый технологический маршрут молекулярно-лучевой эпитаксии PHEMT наногетероструктур AlGaAs/InGaAs/GaAs (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 21.10.2011 № 332а-К)
Правообладатели — сотрудники ИСВЧПЭ РАН (до 2010 года)
Патенты на полезную модель
- Многодиапазонный когерентный датчик сверхвысокочастотных и оптических сигналов (Варианты) (№99191)
- Полупроводниковая наногетероструктура со ступенчатой квантовой ямой AlGaAs/GaAs/InGaAs/GaAs/AlGaAs на подложке GaAs с комбинированным легированием (№ 113072)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (№ 2118672)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (2) (№ 2102542)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (3) (№ 2106437)
- Способ преобразования света в когерентный активными средами микронного размера (№ 2106730)
- Способ формирования микроизображений (№ 2032249)
- Интегрированный преобразователь напряжения питания (№ 2380817)
Авторские свидетельства
- Устройство для напыления эпитаксиальных пленок (№ 1107599)
- Способ формирования изображения топологического рисунка (№ 1165198)
- Способ ретуширования фотошаблона (№ 1266403)
- Молекулярный источник вещества для установок получения пленок соединений (№ 1269550)
- Способ выращивания эпитаксиальных пленок из молекулярных пучков и устройство для его осуществления (№ 1324522)
- Способ анализа чистоты исходных компонентов при выращивании эпитаксиальных пленок соединений А3B5, A2B6, A4B6 (№ 1347514)
- Способ предэпитаксиальной обработки подложек кремния (№ 1501843)
- Способ наращивания эпитаксиальных структур на подложках арсенида галлия (№ 1593506)
- Эпитаксиальная структура (№ 1674674)
- База данных, содержащая информацию по величинам газовыделения материалов, используемых в вакуумной технике (№ 08-210)
- Свидетельство на изобретение (№ 249978)
- Молекулярный источник (№ 1679806)
- Способ формирования эпитаксиальных структур на подложках арсенида галлия (№ 1699307)
——————— old ver
Патенты на полезную модель
Патенты на изобретение
- Полупроводниковая структура для фотопроводящих антенн (№2624612)
- Способ изготовления Т-образного затвора (№2624600)
- Способ изготовления омических контактов к нитридным гетероструктурам на основе Si/Al (№2619444)
-
Материал для фотопроводящих антенн (№2610222)
- Полупроводниковая транзисторная наногетероструктура на подложке GaAs С модифицированным стоп-слоем AlxGa1-xAs (№2582440)
- Способ определения параметров решетки в выбранной малой области эпитаксиального слоя с градиентом химического состава (№2581744)
- Устройство СВЧ плазменной обработки материалов (№2555743)
- Способ прецезионной лазерной-плазмохимической резки пластин (№ 2537101)
- Устройство СВЧ плазменной обработки (№ 2539872)
- Устройство СВЧ плазменной обработки пластин (№ 2539863)
- Наноразмерная структура с квазиодномерными проводящими нитями олова в решетке GaAs (№ 2520538)
- Способ СВЧ плазменного формирования пленок кубического карбида кремния на кремнии (3C-SiC) (№ 2538358)
- Полупроводниковая наногетероструктура InAlAs/InGaAs с метаморфным буфером(№ 2474924)
- Полупроводниковая метаморфная наногетероструктура InAlAs/InGa As(№ 2474923)
- Базовый технологический маршрут электронно-лучевой литографии грибообразных затворов транзисторов МИС с топологическими размерами 0,1 мкм и менее (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 21.10.2011 № 332а-К)
- Базовый технологический маршрут молекулярно-лучевой эпитаксии PHEMT наногетероструктур AlGaAs/InGaAs/GaAs (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 21.10.2011 № 332а-К)
- Базовый технологический маршрут молекулярно-лучевой эпитаксии метаморфной HEMT наногетероструктуры InAlAs/InGaAs/GaAs с напряженными сверхрешётками InAlAs/InGaAs в метаморфном буфере (Приказ от 27.07.2012 № 214-ОД)
- Базовый технологический маршрут молекуларно-лучевой эпитаксии метаморфной HEMT наногетероструктуры InAlAs/InGaAs/GaAs с инверсными ступенями в метаморфном буфере (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 27.07.2012 №215-ОД).
- Маршрут проектирования интегрированных антенных элементов на один кристалл с усилителем (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
- Базовая технология селективного подзатворного травления системы n-GaAs/AlGaAs (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
- Методика экспресс-анализа коэффициентов шума и усиления кристаллов МИС и транзисторов зондовым способом на рабочих пластинах (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
- Улучшенный технологический mаршрут электронно-лучевой литографии грибообразных затворов транзисторов мис с топологическими размерами 0,1 мкм и менее (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 03.10.2012 № 280-ОД)
- Базовый технологический маршрут молекулярно лучевой эпитаксии hemt наногетероструктур InAlAs/InGaAs/InAlAs на подложках InP (Приказ ИСВЧПЭ РАН от 15.05.2013 № 94-ОД)
- Приемо-передающий модуль для диапазона частот 23-25 ГГц в составе: ГУН с буферным усилителем, балансный смеситель, МШУ (№ 2017630076)
- Приемо-передающий модуль для диапазона частот 23-25 ГГц в составе: малошумящий усилитель, балансный смеситель, умножитель частоты (№ 2017630091)
- Усилитель мощности диапазона частот 42-46 ГГц (№ 2017630015)
- Интегральный малошумящий усилитель для диапазона частот 8-12 ГГц (№ 2016630103)
- Интегральный усилитель мощности для диапазона частот 8-12 ГГц (№ 2016630104)
- Интегрированный приемо-передающий модуль для диапазона частот 57-64 ГГц (№2016630080)
- Интегральный СВЧ переключатель 1×2 для диапазона 4-18Ггц в копланарном исполнении
- Однокаскадный малошумящий усилитель W-диапазона
- Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 57-64ГГц
- Двухкаскадный малошумящий усилитель W-диапазона
- Преобразователь сигнала для диапазона 57-64ГГц
- Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона частот 57-64 ГГЦ
- Трехкаскадный усилитель мощности W-диапазона
- Двухкаскадный усилитель мощности W-диапазона
- Метаморфный малошумящий усилитель диапазона частот 57-64 ГГц
- Емкостный микроэлектромеханический шунтирующий переключатель для диапазона 10-12 ГГц
- Метаморфный усилитель мощности диапазона частот 57-64 ГГц
- Трехэлектродный СВЧ-конденсатор переменной емкости для диапазона частот 10-12 ГГц
- Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 10-12 ГГц
(№ 2012630103) - Интегральный антенный элемент со встроенным усилителем мощности для диапазона 5 ГГц (№ 2012630102)
- Генератор Ku-диапазона (№ 2012630022)
- Резистивный смеситель с субгармонической накачкой КВЧ диапазона (№ 2012630021)
- Широкополосный малошумящий усилитель (№ 2011630032)
- Монолитный интегральный ультраширокополосный усилитель мощности диапазона 0,01-4 ГГц на гетероструктурах AlGaN/GaN (№ 2011630033)
- Монолитный интегральный трехкаскадный малошумящий усилитель КВЧ диапазона (№ 2011630034)
- Монолитный интегральный широкополосный усилитель мощности Ka- диапазона на гетероструктурах AlGaN/GaN (№ 2011630053)
- Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 5 ГГц (№ 2011630058)
- Интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 10- 12 ГГц (№ 2011630059)
- Прямоугольный интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 5 ГГц (№ 2012630001)
- Прямоугольный интегральный антенный элемент со встроенным малошумящим усилителем для диапазона 10- 12 ГГц (№ 2012630008)
Патенты на полезную модель
- Многодиапазонный когерентный датчик сверхвысокочастотных и оптических сигналов (Варианты) (№99191)
- Полупроводниковая наногетероструктура со ступенчатой квантовой ямой AlGaAs/GaAs/InGaAs/GaAs/AlGaAs на подложке GaAs с комбинированным легированием (№ 113072)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (№ 2118672)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (2) (№ 2102542)
- Способ синтеза монокристаллов алмаза и реактор для его реализации (3) (№ 2106437)
- Способ преобразования света в когерентный активными средами микронного размера (№ 2106730)
- Способ формирования микроизображений (№ 2032249)
- Интегрированный преобразователь напряжения питания (№ 2380817)
Авторские свидетельства
- Устройство для напыления эпитаксиальных пленок (№ 1107599)
- Способ формирования изображения топологического рисунка (№ 1165198)
- Способ ретуширования фотошаблона (№ 1266403)
- Молекулярный источник вещества для установок получения пленок соединений (№ 1269550)
- Способ выращивания эпитаксиальных пленок из молекулярных пучков и устройство для его осуществления (№ 1324522)
- Способ анализа чистоты исходных компонентов при выращивании эпитаксиальных пленок соединений А3B5, A2B6, A4B6 (№ 1347514)
- Способ предэпитаксиальной обработки подложек кремния (№ 1501843)
- Способ наращивания эпитаксиальных структур на подложках арсенида галлия (№ 1593506)
- Эпитаксиальная структура (№ 1674674)
- База данных, содержащая информацию по величинам газовыделения материалов, используемых в вакуумной технике (№ 08-210)
- Свидетельство на изобретение (№ 249978)
- Молекулярный источник (№ 1679806)
- Способ формирования эпитаксиальных структур на подложках арсенида галлия (№ 1699307)