Установка шлифования и полировки пластин PM-5 фирмы Logitech
Установка ВИМС (Вторичная ионная масс-спектроскопия) CAMECA IMS 4F
Зондовая станция с измерителем ВАХ Tektronix CURVE TRACER 370A
Установка плазменной обработки пластин Glen 1000P
Установка прецизионной контактной фотолитографии SUSS MJB4 IR (i-, g-, h-, line UV и DUV (λ=200-250 нм.))
Инспекционный оптический микроскоп Leica INM100 (видимый свет и УФ)
Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Raith150-TWO (Raith GmbH)
Установка плазмохимического осаждения диэлектрических слоев (PECVD)
Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments
Установка напыления золота с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины
Установка ионно-лучевого травления фирмы TECHNICS
Установка вакуумного напыления с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины
Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Voyager (Raith GmbH, 2014)