Оборудование

Установка молекулярно-лучевой эпитаксии ЦНА-9
Установка молекулярно-лучевой эпитаксии RIBER 32P
Установка низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев Plasmalab-100-ICP 180 фирмы Oxford Instruments

 

Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments
Установка низкоэнергетического плазмохимического травления на основе электронного циклотронного резонанса (ЭЦР)

 

Установка приклейки пластин на диск-носитель фирмы Logitech

Установка шлифования и полировки пластин PM-5 фирмы Logitech

Установка ВИМС (Вторичная ионная масс-спектроскопия) CAMECA IMS 4F

Зондовая станция с измерителем ВАХ Tektronix CURVE TRACER 370A

 

Измеритель коэффициента шума Agilent N8975 и коэффициента мощности Agilent E4417A

Векторный анализатор Agilent E8361A

 

Установка плазменной обработки пластин Glen 1000P

Установка прецизионной контактной фотолитографии SUSS MJB4 IR (i-, g-, h-, line UV и DUV (λ=200-250 нм.))

Инспекционный оптический микроскоп Leica INM100 (видимый свет и УФ)

Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Raith150-TWO (Raith GmbH)

Установка электронно-лучевой литографии EBMF-2 (Cambridge Instruments), модернизированная

 

Установка плазмохимического осаждения диэлектрических слоев (PECVD)

Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments

 

Установка напыления золота с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины

 

Установка ионно-лучевого травления фирмы TECHNICS

Установка вакуумного напыления с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины

 


Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Voyager (Raith GmbH, 2014)

ДОПОЛНИТЕЛЬНО

 

ЭВМ 1 для расчетов и моделирования  по программе ADS
Операционная система:    Windows 7 Профессиональная  +  Service Pack 1
Процессор :     Intel(R) Xeon(R)  CPU E5-2687 W 0 @3.10 GHz  3.10  GHz (2 процессора)
Каждый процессор   8 ядер,   каждое ядро  2 потока.
Итого  32 потока.
Установленная память (ОЗУ):    32.0 Гб
Тип системы:  64-разрядная  операционная система
Общий объем памяти на жестком диске:   931.51 Гб

ЭВМ 2  для расчетов и моделирования  по программе ADS
Операционная система:    Windows 7 Профессиональная  +  Service Pack 1
Процессор :     Intel(R) Xeon(R)  CPU E5-2687 W 0 @3.10 GHz  3.10  GHz (2 процессора)
Каждый процессор   8 ядер,   каждое ядро  2 потока.
Итого  32 потока.
Установленная память (ОЗУ):    32.0 Гб
Тип системы:  64-разрядная  операционная система
Общий объем памяти на жестком диске:   931.51 Гб

ЭВМ 3  для расчетов и моделирования  по программе ADS
Операционная система:    Windows 7 Профессиональная  +  Service Pack 1
Процессор :     Intel(R) Xeon(R)  CPU  X5690  @3.47 GHz  3.47  GHz (2 процессора)
Каждый процессор    6 ядер,   каждое ядро  2 потока.
Итого  24 потока.
Установленная память (ОЗУ):    48.0 Гб
Тип системы:  64-разрядная  операционная система
Общий объем памяти на жестком диске:   1397.27 Гб


Использование программы ADS.
На всех трёх  ЭВМ установлена программа ADS версии ADS 2014.01, а на ЭВМ 1  установлена еще программа  ADS версии  ADS 2015.01.   Эта  программа используется  для схемотехнического анализа   МИС  (монолитных интегральных  схем)  и для электромагнитных   расчётов топологии  этих  МИС.  Для электродинамического расчёта используется метод моментов (Momentum  Microwave)  и метод конечных элементов (FEM).

Прокрутить вверх